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本文收集整理了一些有關(guān)于美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列的產(chǎn)品信息，詳細(xì)介紹了美國(guó)MKS電容壓力計(jì)的產(chǎn)品特點(diǎn)，華聯(lián)歐優(yōu)惠銷售MKS電容壓力計(jì)，如果您有所需求，歡迎隨時(shí)您來(lái)電！
1、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列介紹
MKS Baratron®電容壓力計(jì)具有高精度和可重復(fù)性，對(duì)氣體成分不敏感，結(jié)構(gòu)緊湊，并且易于與大多數(shù)過(guò)程工具連接。他們幾乎完全使用鎳基合金制造隔膜壓力表，例如Inconel®、Incoloy®等。當(dāng)材料與工藝相匹配時(shí)，這使得它們具有高度的耐腐蝕性。他們的傳感器在組裝前經(jīng)過(guò)完全焊接和100%泄漏檢查。如果隔膜發(fā)生極其罕見(jiàn)的故障，過(guò)程氣體將完全包含在傳感器內(nèi)，防止逸出到外部環(huán)境。沒(méi)有其他壓力或真空計(jì)能夠提供這種安全級(jí)別。他們的高性能Baratron®電容壓力計(jì)能夠以高精度和高重復(fù)性測(cè)量獨(dú)立于氣體的絕對(duì)壓力。精度被指定為準(zhǔn)確輸出信號(hào)的讀數(shù)的百分比，即使在刻度的低端也是如此。
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2、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列概述
DA02B EtherCAT®Baratron®電容壓力計(jì)繼續(xù)將高性能發(fā)展到網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中，使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)EtherCAT數(shù)字通信連接到復(fù)雜的過(guò)程工具。EtherCAT Baratron壓力計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的配備以太網(wǎng)的627C和628C Baratron產(chǎn)品，符合當(dāng)前的SEMI®EtherCAT通用設(shè)備配置文件，專為在先進(jìn)處理系統(tǒng)中使用而設(shè)計(jì)。
3、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列特點(diǎn)
①未加熱或控制至45°C、80°C或100°C
②EtherCAT®通信和與壓力成比例的0-10 VDC輸出
③滿量程測(cè)量范圍為0.1至1000 Torr（13.3 Pa至133.3 kPa）
④提供標(biāo)準(zhǔn)或蝕刻傳感器
⑤全焊接Inconel和Incoloy®傳感器具有極高的耐腐蝕性
4、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列規(guī)格
①傳感器溫度：控制至45°C、80°C或100°C
②滿量程壓力范圍：0.1、0.25、1、2、10、20、50、100、200、500和1000托（和公制當(dāng)量）
③解決：0.001%滿量程
④通訊協(xié)議：EtherCAT®
⑤模擬輸出：0-10 VDC輸入小于10Ω負(fù)載
⑥模擬連接器：15針D型超小型公頭
⑦數(shù)字連接器：兩(2)個(gè)RJ45母插座，用于輸入信號(hào)和網(wǎng)絡(luò)信號(hào)
⑧跨度溫度系數(shù)：0.02%讀數(shù)/°C
⑨超壓限制：45磅/平方英寸（310千帕）
5、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列特征
（1）Baratron®電容壓力計(jì)技術(shù)
電容壓力計(jì)是機(jī)電壓力計(jì)，可以測(cè)量壓力和真空。電容計(jì)將薄隔膜中的壓力調(diào)制運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成與壓力成比例的電信號(hào)。壓力傳感器是一個(gè)薄隔膜，暴露在通過(guò)入口管測(cè)量的壓力或真空中。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過(guò)程和參考腔之間的壓力差coodyak使隔膜輕微偏轉(zhuǎn)，改變隔膜和電極之間的距離。該距離的變化會(huì)導(dǎo)致隔膜和電極之間的電容變化，從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號(hào)。由于電容信號(hào)的差異是由壓力計(jì)內(nèi)的物理變化產(chǎn)生的，而不是由氣體特性的變化產(chǎn)生的，因此電容壓力計(jì)的壓力測(cè)量與被測(cè)氣體的成分無(wú)關(guān)。
（2）讀數(shù)準(zhǔn)確率百分比
精度指定為讀數(shù)的百分比，而不是滿量程，如某些性能較低的設(shè)備中所見(jiàn)。讀數(shù)精度百分比在最需要的壓力范圍較低范圍內(nèi)為您提供更準(zhǔn)確的輸出信號(hào)。
（3）內(nèi)部加熱至45°C、80°C或100°C
這些電容壓力計(jì)的溫度控制為45°C、80°C或100°C，以提高精度。未加熱版本會(huì)暴露在環(huán)境溫度變化的環(huán)境中，這會(huì)降低傳感器的精度。這些設(shè)備將傳感器封裝在一個(gè)保持在高于環(huán)境溫度的恒定溫度的體積中。該解決方案通過(guò)減少或消除壓力計(jì)內(nèi)的過(guò)程污染，提高了壓力計(jì)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性，并降低了儀器漂移。建議將加熱壓力計(jì)用于需要最大精度和可重復(fù)性、在環(huán)境溫度以上運(yùn)行的應(yīng)用以及使用熱氣體的過(guò)程。
（4）絕對(duì)壓力測(cè)量
這些Baratron®壓力傳感器以真空為參考進(jìn)行絕對(duì)壓力測(cè)量。應(yīng)用包括：真空爐、水果和蔬菜冷凍干燥、氣體激光器、汽車部件測(cè)試、瓶子涂層和真空蒸餾。
（5）Inconel®和Incoloy®結(jié)構(gòu)潤(rùn)濕表面
這些壓力傳感器采用Inconel®和Incoloy®鎳合金結(jié)構(gòu)的壓力傳感器，使其能夠在幾乎任何化學(xué)環(huán)境（包括鹵素、去離子水和蒸汽以及臭氧）中無(wú)損壞地運(yùn)行。傳感器完全焊接，沒(méi)有中間釬焊或連接材料。
（6）0至10 VDC比例模擬輸出
這些Baratron®電容壓力計(jì)具有與壓力呈線性關(guān)系的高電平0-10 VDC模擬輸出信號(hào)。該模擬輸出可與MKS壓力控制器、MKS電源/顯示儀器或滿足這些要求的任何儀器連接。
（7）EtherCAT®通信
這些支持e-Baratron EtherCAT®的電容壓力計(jì)繼續(xù)將高性能發(fā)展到網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中，使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)EtherCAT數(shù)字通信連接到復(fù)雜的過(guò)程工具。EtherCAT e-Baratron壓力計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的配備以太網(wǎng)的627C和628C e-Baratron產(chǎn)品，符合當(dāng)前的SEMI®EtherCAT通用設(shè)備規(guī)范，設(shè)計(jì)用于先進(jìn)處理系統(tǒng)。
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